非平衡磁控溅射氟化类金刚石(DLC)薄膜的结构和性能

赵建生; Choy; KL

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非平衡磁控溅射氟化类金刚石(DLC)薄膜的结构和性能

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使用非平衡磁控溅射方法，以Ｃ２Ｈ２为反应气，Ｃ２Ｆ２为氟化气沉积了含氟和不含氟的类金刚石（ＤＬＣ）薄膜。用Ｘ射线光电子谱仪（ＸＰＳ）及Ｒａｍａｎ光谱仪分析薄膜的成分及结构。试验了薄膜的力学性能并讨论了组织结构对性能的影响。结果表明，含氟ＤＬＣ仍具有典型的ＤＬＣ的Ｒａｍａｎ光谱特性。氟降低薄膜中的Ｉ（Ｄ）／Ｉ（Ｇ）比率，使薄膜中的ＳＰ３键相对含量下降。随着氟含量的增加，ＤＬＣ的硬度下降，摩擦系数减小。适当含量Ｆ元素可以提高薄膜划痕试验的临界负荷，增加薄膜与基体的结合强度。

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来源
《中国机械工程》 |1999年第1期|93-96|共4页
作者
赵建生; Choy; KL;
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作者单位

华中理工大学;

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正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
磁控溅射; 类金刚石薄膜; DLC; 力学性能;

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