多晶硅还原炉温度开环控制在HONEYWELL-TPS系统上的创新运用

牛国刚

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多晶硅还原炉温度开环控制在HONEYWELL-TPS系统上的创新运用

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多晶硅材料是太阳能电池组件中光电转换的重要材料,1955年,德国西门子开发出以H2与高纯Si HCl3,在加热到1100℃的硅芯上沉积多晶硅的生产工艺;1957年,这种多晶硅生产工艺开始应用于工业化生产,被外界称为"西门子法"。改良西门子法是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、Si CI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。

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来源
《中国石油石化》 |2016年第24期|75-76|共2页
作者
牛国刚;
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作者单位

青海聚光高新科技有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
多晶硅还原炉; TPS系统; 创新;

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