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激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究

         

摘要

研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体.实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多奇异物理性能和光谱特性.

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