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纳米粒子陶瓷薄膜结构稳定性的工艺控制

         

摘要

主要基于前期研究工作结果,并参考了国内外相关研究成果,介绍和阐述了利用溶胶-凝胶技术制备的氧化钼、氧化钛、钛酸锶陶瓷薄膜过程中,控制薄膜稳定性的主要工艺因素.特别对以无机盐为原料的溶胶-凝胶工艺(ISG工艺)溶胶稳定性原理和措施做了较为详细描述和说明不同出发原料、溶剂和络合剂相匹配性很重要.以钼酸铵为原料,乙二醇和水为溶剂,柠檬酸为络合稳定剂,溶胶在室温下可稳定存放2年以上.干燥控制剂(D CCA)添加于溶胶中,可调整凝胶膜网络质点及其间孔隙的大小与分布,减小热处理过程中膜层应力和薄膜开裂.

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