紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响

夏鹏; 马剑钢; 张昕彤; 薛金玲; 林东

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紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响

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摘要

为了降低溶胶凝胶法制备透明导电薄膜的热退火温度，将溶胶凝胶法与深紫外激光处理相结合，在石英玻璃衬底上制备了非晶铟锌氧（InZnO、IZO）透明导电薄膜。通过x射线衍射、紫外-可见光吸收光谱、霍尔效应测试以及红外光谱等测试手段，分析了激光辐照前后，薄膜的微观结构、光电性质以及材料中有机物共价键的变化情况。结果表明：248m深紫外激光辐照并未改变薄膜的非晶结构，但薄膜的电学性能得到明显的提升，这归因于高能光子能有效去除因低温退火而残留在薄膜中的有机成分，并降低薄膜表面吸附氧的浓度，从而提高薄膜中载流子浓度和迁移率；最后，在250℃的退火温度下得到了光电性能良好的非晶IZO透明导电薄膜（电阻率为2．01×10-2Ω·cm，在550nm处透过率为92．7％）。

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来源
《中国科技论文》 |2016年第17期|P.1979-1982|共4页
作者
夏鹏; 马剑钢; 张昕彤; 薛金玲; 林东;
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作者单位

东北师范大学紫外光发射材料与技术教育部重点实验室,长春130000;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的性质;
关键词
透明导电薄膜; 溶胶凝胶法; 非晶铟锌氧; 深紫外激光辐照;

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