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以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能

         

摘要

以环戊二烯为碳源,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在Si单晶面上制备了类金刚石薄膜.采用FEI Tecnai F30型高分辨透射电镜(HRTEM)和LAMRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜及磨屑的结构进行表征;利用MFT-R4000摩擦磨损试验机、Hysitron Ti-950型原位纳米力学测试系统考察薄膜的摩擦学及力学性能.结果表明:所制备的金刚石薄膜具有富勒烯纳米团簇/非晶复合纳米结构,在磨屑中也出现了这种稳定的片层结构从而起到了良好的减摩作用;并且薄膜表现出优异的力学性能和摩擦学性能:其硬度为26.8 GPa、弹性回复为85%、摩擦因数为0.01.由于这种特殊纳米结构的存在,使得薄膜的力学性能及摩擦学性能显著提高.

著录项

  • 来源
    《中国表面工程》 |2014年第4期|89-94|共6页
  • 作者单位

    兰州理工大学石油化工学院,兰州730050;

    兰州理工大学石油化工学院,兰州730050;

    中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000;

    兰州理工大学石油化工学院,兰州730050;

    中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000;

    中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000;

    中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730000;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 真空镀与气相镀法;
  • 关键词

    环戊二烯; 碳基薄膜; 力学性能; 摩擦学性能;

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