等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展

黄璐; 刘梅军; 杨冠军

首页> 中文期刊> 《中国表面工程》 >等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展

等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

等离子-物理气相沉积(PS-PVD)具有制备层柱等多结构可控涂层的优异特性,但针对PS-PVD涂层结构调控的研究多局限于试错性试验,缺乏对涂层沉积与调控理论的研究,因此亟需对现有研究结果进行归纳、总结,以对PS-PVD沉积原理与涂层结构调控的进一步研究提供理论参考。针对PS-PVD所特有的涂层材料长距离输运、气液固多相态沉积过程,从涂层结构特征出发,综述PS-PVD沉积单元在经历喷枪内瞬时蒸发和喷枪外持续蒸发行为后,所进行的长距离输运行为与沉积行为的完整过程。此外,结合输运行为与沉积行为分析参数调控对沉积单元及涂层结构的影响规律,并对PS-PVD柱状结构涂层沉积机理的研究以及涂层制备技术的发展进行展望。

著录项

来源
《中国表面工程》 |2022年第1期|10-24|共15页
作者
黄璐; 刘梅军; 杨冠军;
展开▼
作者单位

西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类热处理工艺;概率论、数理统计的应用;
关键词
等离子-物理气相沉积(PS-PVD); 输运行为; 沉积机理; 结构调控;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 等离子-物理气相沉积(PS-PVD)热障涂层的结构调控与高隔热机理 [J] . 刘梅军 ,李广荣 ,杨冠军 . 湘潭大学自然科学学报 . 2019,第006期
2. 等离子-物理气相沉积(PS-PVD)热障涂层的结构调控与高隔热机理 [J] . 刘梅军 ,李广荣 ,杨冠军 . 湘潭大学学报：自然科学版 . 2019,第006期
3. 等离子-物理气相沉积（PS-PVD）及其射流非接触检测方法 [J] . 刘梅军 ,李广荣 ,杨冠军 . 表面技术 . 2020,第1期
4. 等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)制热障涂层(TBCs)抗燃气热腐蚀性能研究 [J] . 袁小虎 ,李定骏 . 东方汽轮机 . 2019,第001期
5. 等离子喷涂-物理气相沉积的气相沉积机理 [J] . 邓子谦 ,刘敏 ,毛杰 . 无机材料学报 . 2017,第012期
6. 电子束物理气相沉积中蒸气粒子输运的研究进展 [C] . 李帅辉 ,樊菁 ,舒勇华 . 第十四届中国空气动力学物理气体动力学学术交流会 . 2009
7. 碳/碳复合材料液相沉积法碳源化合物热裂解机理的研究 [A] . 崔彦斌 . 2005

等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅