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TFT-LCD玻璃基板生产环境及颗粒控制

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本文主要阐述了TFT-LCD玻璃基板生产期间颗粒的产生、影响与对策。重点阐述生产环境中颗粒的来源与控制,对减少生产环境颗粒和实施生产环境洁净管理提供切实可行的方法,为玻璃基板提供良好且稳定的生产环境,减少颗粒污染或受颗粒影响的表面缺陷,从而提升基板良品率。

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来源
《中国玻璃》 |2021年第3期|43-45|共3页
作者
刘成; 王丽; 陈晓丹;
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作者单位

蚌埠中光电科技有限公司;

安徽蚌埠233030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类无线电设备、电信设备;
关键词
玻璃基板; 颗粒污染; 表面缺陷; 环境控制; 洁净管理;

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