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脉冲溅射电源的设计及其应用

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设计研制了脉冲溅射电源并用此电源制备了Ａｌ２Ｏ３薄膜，实验表明采用脉冲电源可以抑制溅射同的异常放电。

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来源
《电子器件》 |1998年第4期|223-227|共5页
作者
刘云峰; 陈国平;
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作者单位

东南大学电子工程系;

东南大学电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类电真空器件制造工艺;
关键词
脉冲溅射; 电源; 设计; 化合物薄膜;

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