两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究

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• 来源
  《电子器件》 |2020年第4期|720-723|共4页
• 作者

  高金海; 张洁; 李成刚; 张兵临;

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• 作者单位

  郑州师范学院物理与电子工程学院 河南 郑州450044;

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 河南 郑州450052;

  郑州师范学院物理与电子工程学院 河南 郑州450044;

  郑州师范学院物理与电子工程学院 河南 郑州450044;

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 河南 郑州450052;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 特种结构材料;薄膜物理学;
• 关键词

  微波等离子体化学气相沉积; 场致电子发射; 纯平金刚石碳膜; 球状金刚石聚晶颗粒碳膜;