基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关

郑从兵; 张鹏飞; 王立峰; 韩磊; 张志强; 黄晓东

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基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关

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本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题.通过对介质层预先注入和存储适量的电荷,在该介质层中形成稳定的内建电势,这将优化MEMS固支梁的下拉操作,从而有效降低MEMS开关的驱动电压.此外,在开关制备完成后,仍可通过调控介质层中注入电荷的数目来调节内建电势大小,从而在不改变MEMS开关结构参数的条件下实现MEMS开关驱动电压的可重构功能.建立了该新型MEMS开关的解析模型,对该新型模型进行分析,并验证了模型的正确性.

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来源
《电子器件》 |2020年第6期|1191-1196|共6页
作者
郑从兵; 张鹏飞; 王立峰; 韩磊; 张志强; 黄晓东;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN4+;TP212;
关键词
MEMS开关; 电荷注入; 驱动电压; 可重构;

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