超精密装置PID振动控制系统的仿真研究

陈亚良; 傅龙珠; 梅德庆; 陈子辰

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超精密装置PID振动控制系统的仿真研究

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在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上,采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求,采用闭环PID主动控制系统,用Matlab软件进行了仿真分析.仿真分析结果表明,该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果,该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备的隔振领域.

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来源
《工程设计学报》 |2003年第1期|15-19|共5页
作者
陈亚良; 傅龙珠; 梅德庆; 陈子辰;
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作者单位

浙江大学,现代制造工程研究所,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代制造工程研究所,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代制造工程研究所,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代制造工程研究所,浙江,杭州,310027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械振动学;
关键词
超精密装置; 仿生学; 主动振动控制; PID控制;

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