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强电离放电产生臭氧等离子体过程及其应用研究

         

摘要

电子从强电场 (>30 0Td)放电过程中取得的平均能量大于 8.4eV ;促使氧分子分解、分解电离成高浓度的氧原子、氧原子离子 ,从而产生高浓度 (>2 0 0 g/Nm3 )臭氧 ,实现了用电离放电电场的物理量控制臭氧产生浓度、产生效率及臭氧分解速率 ,并实现臭氧产生装置小型化。

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