溶胶-凝胶法制备的用于模式控制型液晶透镜的AZO高电阻薄膜

王伟郅; 于涛; 巩伟兴; 肖奇; 温志玉; 张嘉伦; 黄志宇

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采用溶胶-凝胶法制备了掺杂摩尔分数为5％～20％的Al掺杂ZnO(AZO)高电阻薄膜,采用正方形电阻法表征了薄膜的方块电阻,采用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌进行了表征,采用Nano Measurer 1.2软件测量了薄膜晶粒的平均粒径,采用分光光度计表征了薄膜的光谱透过率.当Al掺杂摩尔分数为5％～20％时,方块电阻在2～405 MΩ/□之间逐渐增大,晶粒尺寸在24.35～17.53 nm之间逐渐减小,可见光透过率可达80％左右.制备了不同Al掺杂摩尔分数的AZO高电阻层的模式控制型液晶透镜并研究了其光学干涉特性,掺杂摩尔分数在10％～15％之间,AZO薄膜可满足液晶透镜对薄膜透明度和方块电阻的要求.

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来源
《液晶与显示》 |2020年第10期|1006-1011|共6页
作者
王伟郅; 于涛; 巩伟兴; 肖奇; 温志玉; 张嘉伦; 黄志宇;
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作者单位

大连海事大学理学院辽宁大连116026;

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大连海事大学理学院辽宁大连116026;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学;液晶;
关键词
溶胶-凝胶法; AZO薄膜; 方块电阻; 液晶透镜; 模式控制;

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