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不同钝化结构对非极性AlGaN-MSM紫外探测器性能的提升

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摘要

在r面蓝宝石衬底上,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法高温生长了未掺杂非极性AlGaN半导体薄膜,在此基础上制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的紫外探测器.系统研究了在AlGaN半导体薄膜表面分别磁控溅射SiO2纳米颗粒与SiO2钝化层两种钝化手段对非极性AlGaN-MSM结构的紫外探测器性能的影响.实验结果表明:磁控溅射SiO2纳米颗粒钝化或SiO2钝化层两种手段都能提升AlGaN-MSM结构紫外探测器性能.暗电流测试表明,SiO2纳米颗粒和SiO2钝化层可使器件暗电流下降1～2个数量级,达到nA量级.光谱响应测试发现,在5 V偏压下,探测器在300 nm处具有陡峭的截止边,这表明其具有很好的深紫外特性,光谱响应提高了103倍,紫外可见抑制比高达105.

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来源
《发光学报》 |2018年第7期|997-1001|共5页
作者
贾辉; 梁征; 张玉强; 石璐珊;
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作者单位

公安海警学院基础部,浙江宁波 315801;

公安海警学院基础部,浙江宁波 315801;

公安海警学院基础部,浙江宁波 315801;

宁波科技信息研究院研究中心,浙江宁波 315040;

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正文语种 chi
中图分类化合物半导体;
关键词
钝化; 非极性AlGaN; MSM; 紫外探测器;

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