中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院大学,北京 100049;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心,北京 100083;