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退火温度对溶胶-凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的结构和光学特性的影响

         

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(100)衬底上制备Na掺杂ZnO薄膜,退火温度分别为873,973,1 073 K.研究了退火温度对Na掺杂ZnO薄膜形貌、微观结构和光学性能的影响.室温光致发光谱显示,在973 K下退火的样品具有中心位于361 nm处尖锐而强的紫外发光峰,在388,425 nm处各有一个比较弱的紫色和蓝色发光峰,在可见光范围内发光峰的强度很弱.

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