柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

王娜娜; 于军胜; 林慧; 黄春华; 蒋亚东

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柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

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在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)柔性衬底上采用直流磁控溅射技术制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了衬底温度、溅射功率和溅射压强等工艺条件对薄膜光电性能的影响,并利用原子力显微镜(AFM)表征了衬底及ITO薄膜的表面形貌.结果表明,在PET衬底温度50 ℃、溅射功率100 W和溅射压强2.66×10-1 Pa的条件下,可以得到低方阻(50 Ω/□)和高透过率(＞90%)的透明导电薄膜.以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq3/Mg:Ag的柔性有机电致发光器件,在驱动电压为13 V时,器件的发光亮度达到了2 834 cd/m2.

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来源
《发光学报》 |2008年第6期|967-972|共6页
作者
王娜娜; 于军胜; 林慧; 黄春华; 蒋亚东;
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作者单位

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN383.1;TN873.3;
关键词
有机电致发光器件; 柔性基板; 氧化铟锡薄膜; 直流磁控溅射;

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