表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响

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• 来源
  《发光学报》 |2005年第6期|777-780|共4页
• 作者

  闫小龙; 刘大力; 石增良; 董鑫; 高忠民; 杜国同;

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• 作者单位

  吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130012;

  吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130012;

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  吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130012;

  吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130012;

  吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130012;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 发光学;
• 关键词

  ZnO薄膜; 金属有机化学气相沉积; 表面预处理;