氮化镓/蓝宝石异质结构中极性的研究(英文)

韩培德; 刘祥林; 王晓晖; 汪度; 陆大成; 王占国

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用低压金属有机气相外延方法设备在蓝宝石衬底两个相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜 ,对此进行了扫描电子显微镜、透射电子显微镜的分析和研究。发现当衬底表面是向籽晶面时 ,生长的六方相氮化镓薄膜为 ( 0 0 0 1 )取向 ,而当衬底表面是背籽晶面时 ,生长的氮化镓薄膜则为 ( 0 0 0 1 )取向。

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来源
《发光学报》 |2001年第s1期|33-37|共5页
作者
韩培德; 刘祥林; 王晓晖; 汪度; 陆大成; 王占国;
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作者单位

中国科学院半导体研究所半导体材料科学开放实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类发光学;
关键词
极性; GaN/Al2O3; MOVPE;

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