Formation of nanocrystalline microstructure in arc ion plated CrN films

著录项

• 来源
  《中国有色金属学报：英文版》 |2011年第A01期|P.73-77|共5页
• 作者

  Qi-min WANG; Se-Hun KWON; Kwang-Ho KIM;

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• 作者单位

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  609-735,;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 真空镀与气相镀法;
• 关键词

  多弧离子镀; 微观结构; 铬薄膜; 氮化铬; 纳米晶; 高分辨透射电子显微镜; 偏置电压; 离子轰击;

  机译：多弧离子镀;微观结构;铬薄膜;氮化铬;纳米晶;高分辨透射电子显微镜;偏置电压;离子轰击;