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闭环电流检测模块中Z轴TMR传感器的研制

         
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摘要

We demonstrated the designing schemes of the Z-axis TMR sensor,and fabricated the Z-axis sensitive TMR sensor which sensing direction is perpendicular to its surface by sputtering film deposition and lithography process. By depositing a NiFe film with thickness,width and gap of 10 μm,10 μm,and 15 μm respectively,we get sensor with sensitivity of 5 mV/Oe under supplied voltage of 5 V,thus verified that this design method works. Utili-zing this Z-axis TMR sensor,a close-loop current measurement module with measurement range of 0~100 A and maximum detecting error of 0.3% was achieved.%阐述了灵敏方向垂直于芯片表面的Z轴TMR传感器的设计方法,并通过溅射镀膜及刻蚀工艺,在芯片表面电镀厚度、宽度、间距分别为为10 μm、10 μm、15 μm的NiFe聚磁层,研制出了Z轴灵敏的TMR传感器.通过实际测试,该方法制备的传感器在电源电压为5 V时,灵敏度达到了5 mV/Oe,证明了该设计方法的正确性.利用所研制的Z轴TMR传感器,构建了闭环电流检测模块,电流测量范围为0~100 A,测量误差小于0.3%.

著录项

  • 来源
    《传感技术学报》 |2018年第2期|207-212|共6页
  • 作者

    郭彦; 庞振江; 王于波; 郭海平; 王峥; 王海宝;

  • 作者单位

    北京智芯微电子科技有限公司,国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心,北京100192;

    江苏多维科技有限公司,江苏 张家港215634;

    北京智芯微电子科技有限公司,国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室,北京100192;

    北京智芯微电子科技有限公司,北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心,北京100192;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TP212;
  • 关键词

    TMR传感器; 垂直灵敏; 聚磁结构; 有限元分析; 电流传感器;

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