新型三维MEMS矢量水听器的设计

李振; 张国军; 薛晨阳

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新型三维MEMS矢量水听器的设计

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根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求,提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器.该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息,采用ANSYS进行仿真,静力分析得出了布放压阻的合理位置,谐响应分析得出该结构的固有频率在1.5 kHz左右;驻波桶校准测试结果表明:该水听器的灵敏度范围在-200 dB到-180 dB左右;在25 Hz～2 000 Hz频段内具有良好的频响特性;指向性分辨率大于等于30 dB,具有良好的“8”字形指向性.

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来源
《传感技术学报》 |2013年第7期|950-954|共5页
作者
李振; 张国军; 薛晨阳;
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作者单位

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;

中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;

中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;

中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TB565.1;
关键词
矢量水听器; MEMS; ANSYS; 仿生;

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