微传感器表面温度非接触测试及In2O3微传感器气敏特性的研究

著录项

• 来源
  《传感技术学报》 |2011年第12期|1668-1671|共4页
• 作者

  马晓康; 丛慧; 穆仁; 范会涛; 杨卉; 祈明锋; 张小水; 张彤;

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• 作者单位

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  河南汉威电子股份有限公司,郑州450001;

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  河南汉威电子股份有限公司,郑州450001;

  吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012;

  河南汉威电子股份有限公司,郑州450001;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 红外技术的应用;温度的测量（测温学）;
• 关键词

  微气体传感器; 非接触测温; 热辐射; 温度分布; 三氧化二铟;