基于横向场激励的高频压电超声换能器

张志甜; 张超; 冯冠平

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基于横向场激励的高频压电超声换能器

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介绍了一种基于横向场激励模式的高频压电超声换能器及其设计、分析和制作过程.采用扩展的Christoffel-Bech-manll方法对LiNbO_3、LiTaO_3和PMN-33PT三种不同压电材料的a模式横向场压电耦合系数进行了计算,发现这三种材料中LiNbO_3具有最大的LFE a模式压电耦合系数,为28%.采用具有最大压电耦合系数的X切LiNbO_3设计并制作了基于横向场激励的高频超声换能器,并采用传统的Pulse-Echo方法测试了该超声换能器的中心频率和带宽.实验测得该LFE高频超声换能器的中心频率为34MHz,-6dB带宽为14.4%.从理论和实验上证明了横向场激励模式可以应用于高频超声换能器.

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来源
《传感技术学报》 |2010年第4期|461-464|共4页
作者
张志甜; 张超; 冯冠平;
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作者单位

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

深圳清华大学研究院,深圳,518057;

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

深圳清华大学研究院,深圳,518057;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类超声换能器;
关键词
高频压电超声换能器; 横向场激励; Pulse-Echo方法; 铌酸锂;

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