不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析

董林玺; 李寿洛; 陈金丹; 颜海霞; 许立; 王光义; 孙玲玲

首页> 中文期刊> 《传感技术学报》 >不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析

不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能.本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑梁、振子厚度以及振子到衬底的距离的条件下,栅形结构传感器的振子质量最大,空气阻尼最小,适合制作高分辨率的传感器;在大气下,梳齿结构灵敏度增加的同时空气阻尼力也会增加,且振子质量较小,适合制作高灵敏度,低分辨率传感器结构;梳栅结构的特点居于两者之间,适合制作需要兼顾分辨率和灵敏度的传感器.通过实例计算,证明了该结果.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2010年第4期|501-507|共7页
作者
董林玺; 李寿洛; 陈金丹; 颜海霞; 许立; 王光义; 孙玲玲;
展开▼
作者单位

杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018;

杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018;

杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018;

东芝水电设备有限公司,杭州,311504;

杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018;

杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018;

杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,杭州,310018;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电容器;
关键词
MEMS; 微电容式惯性传感器; 检测电容结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 极板非平行时对圆板极距式电容传感器的性能影响分析 [J] . 肖国领 ,李宏超 . 传感器世界 . 1997,第007期
2. 高性能电容传感器检测系统(上) [J] . 禹健 . 电子产品世界 . 2007,第006期
3. 高性能电容传感器检测系统(下) [J] . 禹健 . 电子产品世界 . 2007,第007期
4. 厚度渐变结构介电性能测试用变间距叉指型相邻电容传感器设计 [J] . 焦敬品 ,李亮 ,何存富 . 机械工程学报 . 2017,第18期
5. 超级电容极柱端子不同表面处理对其使用性能的影响分析 [J] . 毛业军 ,李玉梅 ,龙源 . 储能科学与技术 . 2019,第0z1期
6. MEMS电容传感器小电容的测量 [C] . 莫邦燹 ,倪学文 ,项斌 . 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会 . 2004
7. MEMS微电容传感器检测电路的研制 [A] . 何立志 . 2008

不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅