基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析

沈雪瑾; 王旭; 戚伟俊; 李科委; 吴文蕾

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基于柔性铰链支承的热驱动硅微机械手的力学模型及性能分析

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微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一.以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了微夹钳的二次超静定力学模型,导出了钳口处输出位移的解析式,并在此基础上对硅微机械手的性能进行了分析.分析表明,微夹钳的输出位移与柔性铰链切割半径成正比,切割半径越大,输出位移越大;对各加载电压下的微夹钳输出位移,其试验和理论结果的变化趋势一致,即微夹钳输出位移随输入电压的增加基本呈线性增加.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第2期|284-287|共4页
作者
沈雪瑾; 王旭; 戚伟俊; 李科委; 吴文蕾;
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作者单位

上海大学机械自动化系,上海200072;

上海大学机械自动化系,上海200072;

上海大学机械自动化系,上海200072;

上海大学机械自动化系,上海200072;

上海大学机械自动化系,上海200072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机构学;半导体器件制造工艺及设备;
关键词
微型机电系统; 微机械手; V型梁电热致动器; 柔性铰链;

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