非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析

尚永红; 李艳秋; 于红云; 孙红光; 苏波

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非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析

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将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题.通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析.计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度.根据优化设计,外加压力在0.2～1.4× lO.Pa间变化时,电容值在0.0251～0.0281 pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在Xy面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%.因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第2期|276-279|共4页
作者
尚永红; 李艳秋; 于红云; 孙红光; 苏波;
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作者单位

中国科学院电工研究所,北京100080;

中国科学院电工研究所,北京100080;

北京理工大学,北京100081;

中国科学院电工研究所,北京100080;

中国科学院研究生院,北京100049;

中国科学院电工研究所,北京100080;

中国科学院电工研究所,北京100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
非接触式电容压力传感器; 敏感元件; MEMS;

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