一种微机械加速度计的自检测特性研究

陈伟平; 韩天; 赵振刚; 刘晓为; 孙立宁; 曹伽牧

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一种微机械加速度计的自检测特性研究

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采用静电力驱动质量块产生等效加速度信号实现了微机械加速度计的自检测功能.分析了平板驱动电极的静电驱动力、吸合电压以及稳定驱动位移条件.采用光学测试技术测试了驱动电压和驱动位移的关系,吸合电压,证实了理论分析.利用理论分析公式计算了低驱动电压情况下的驱动位移.结果表明在10～15 V的直流驱动电压下能产生等效于1gn加速度的输出.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第3期|477-479|共3页
作者
陈伟平; 韩天; 赵振刚; 刘晓为; 孙立宁; 曹伽牧;
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作者单位

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;

哈尔滨理工大学,哈尔滨,150080;

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正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
微机械电子系统; 加速度计; 自检测; 静电力;

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