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基于柔性衬底的人造视网膜生物微电极阵列研究

         

摘要

设计了一种用于刺激视网膜的生物微电极阵列,采用非硅MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上制备出了具有一定生物相容性的,电极数为20的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的完整释放.实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物相容性;采用PDMS作为柔性衬底与玻璃片的粘附层,使得器件的释放过程,简单且无毒无害,对器件也无损害.制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好.对微电极阵列进行了电学性能测试,在10~5 000 Hz频率范围,其阻抗为104~106欧姆,符合电刺激要求.

著录项

  • 来源
    《传感技术学报》 |2008年第4期|550-552|共3页
  • 作者单位

    上海交通大学微纳科技研究院微米/纳米加工技术国家级实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科技研究院微米/纳米加工技术国家级实验室,上海,200030;

    上海交通大学生命科学技术学院,上海,200030;

    上海交通大学微纳科技研究院微米/纳米加工技术国家级实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科技研究院微米/纳米加工技术国家级实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科技研究院微米/纳米加工技术国家级实验室,上海,200030;

    上海交通大学生命科学技术学院,上海,200030;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TP212.3;
  • 关键词

    生物电极; 生物相容性; MEMS技术;

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