微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成

汤雅权; 张海涛; 马盛林; 于晓梅

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微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成

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提出了一种基于SOI 技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性.微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路.信号调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器.测量的结果证实了我们单片集成的可行性.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第4期|667-671|共5页
作者
汤雅权; 张海涛; 马盛林; 于晓梅;
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作者单位

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

北京大学微电子学研究院,北京,100871;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
单片集成; MEMS; SOI; 仪用放大器;

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