一种非接触高精度平面高度差检测方法

刘力双; 吕乃光; 孙双花; 王宝光

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一种非接触高精度平面高度差检测方法

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精密光学系统的安装精度要求非常高,必须经过严格检测.提出了一种基于电容传感器的非接触平面高度差检测方法.以精密电容传感器为核心,利用多传感器的相对测量,减小了漂移的影响,实现了高精度测量;通过使用标准厚度块,增大了测量的量程和使用范围.文中对测量的原理和精度进行了分析,经鉴定,该方法测量精度达到2 μm.

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来源
《传感技术学报》 |2007年第7期|1644-1647|共4页
作者
刘力双; 吕乃光; 孙双花; 王宝光;
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作者单位

北京机械工业学院电子信息工程系,北京,100085;

北京机械工业学院电子信息工程系,北京,100085;

天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
电容传感器; 高度差; 非接触; 高精度;

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