大位移压电陶瓷驱动器的有限元分析

崔艳梅; 刘向锋; 高志

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大位移压电陶瓷驱动器的有限元分析

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为研究压电陶瓷驱动器的驱动效能,制作了大位移压电陶瓷驱动器.基于压电陶瓷材料的机电耦合特性,应用动力学有限元分析方法,将大位移压电陶瓷驱动器离散成一系列四面体单元,分别进行了力学和电学分析.根据压电陶瓷的基本压电方程,耦合了位移模式与电场模式的有限元模型,建立了压电陶瓷驱动器的有限元动力学模性.利用有限元分析软件ANSYS中的直接耦合场进行分析求解,分析结果与试验测量值取得了良好的一致,证实了利用压电陶瓷双晶片弯曲变形,制作的大位移压电陶瓷驱动器结构设计的合理性.该分析方法对压电陶瓷驱动器的设计、制造与测试具有理论指导意义.

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来源
《传感技术学报》 |2007年第10期|2239-2242|共4页
作者
崔艳梅; 刘向锋; 高志;
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作者单位

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类仪器、仪表;微电子学、集成电路（IC）;
关键词
压电陶瓷; 有限元分析; 机电耦合; 驱动器;

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