气敏闭室测量相关实验现象与理论分析

李娟; 邢建平; 矫亦林

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气敏闭室测量相关实验现象与理论分析

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采用闭式实验测量方法测试了微型平面薄膜元件,对出现的过冲弛豫现象产生机理采用扩散模型进行了物理过程分析,并进行了仿真.给出了气敏元件反应放热率Prea与△ttea反应温变的关系式,据此对还原气体分子表面反应几率进行了研究,并对闭室测试中浓度的衰减进行了分析,浓度衰减慢过程的结果验证了闭式测量与流通测量的一致性结论.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第4期|976-980|共5页
作者
李娟; 邢建平; 矫亦林;
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作者单位

山东大学信息科学与工程学院,济南,250100;

山东大学信息科学与工程学院,济南,250100;

山东大学信息科学与工程学院,济南,250100;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
气敏传感器; 反应温变; 闭室测试;

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