射频螺线管微电感的设计和仿真

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• 来源
  《传感技术学报》 |2006年第5期|1878-1880|共3页
• 作者

  方东明; 赵小林; 王西宁; 周勇;

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• 作者单位

  上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电器;
• 关键词

  螺线管电感; HFSS; 品质因素; 射频微机电系统;