应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化

李源; 栗大超; 胡小唐; 赵大博; 郭彤; 陈津平

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应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化

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为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的测杆、中心连接体、梁等结构参数进行了仿真优化,获得了符合测头整体性能设计要求的参数及应力分布曲线.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|1512-1515|共4页
作者
李源; 栗大超; 胡小唐; 赵大博; 郭彤; 陈津平;
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作者单位

天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
MEMS; 微接触式测头; 纳米测量机; 结构设计; 优化;

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