微机械电容式加速度传感器测试电路研究

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• 来源
  《传感技术学报》 |2006年第6期|2421-2424|共4页
• 作者

  杨苗苗; 陈德勇; 王军波; 陈健; 毋正伟; 陈李;

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• 作者单位

  中国科学院电子所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

  中国科学院电子所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

  中国科学院电子所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

  中国科学院电子所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

  中国科学院电子所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

  中国科学院电子所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 自动化技术及设备;
• 关键词

  硅微加速度传感器; 微弱电容检测; 差分检测;