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王晓东; 王涛; 李楠; 刘梦伟; 崔岩; 王立鼎;
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116024;
MEMS测试技术; MEMS动态特性; MEMS微结构;
机译:超声波装置:单晶硅加速度传感器的新建 - 朝向使用谐振频率的谐振频率变化实现MEMS传感器,由于水平振荡器的轴向力
机译:使用梳状驱动器调节RF-MEMS电容器的谐振频率:一种设计方法
机译:使用适用于简单MEMS工艺的可变谐振器的宽范围可变频率谐振隧穿二极管振荡器
机译:MEMS悬臂谐振器在自然频率附近的软直流电压下MEMS悬臂谐振器的幅度 - 电压响应
机译:一种用于调整MEMS谐振器的机械方法。
机译:温度硅MEMS谐振器频率漂移分析
机译:一种新的全光学传感器设计,基于在MEMS加速度计的光子晶体微结构中的可调谐谐振纳米凹陷
机译:辐射对多晶硅微结构谐振频率的影响
机译:带有谐振器主体的MEMS谐振器,谐振器主体的凹形侧面支持高质量因数和低温谐振频率系数
机译:利用MEMS致动器通过机械限制的微谐振器的谐振频率调谐设备,具有该微谐振器的谐振器,其制造方法和调谐方法
机译:MEMS谐振器,其中谐振器主体具有凹形侧面,以支持高质量因数和低谐振频率温度系数
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