基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析

胡瀚; 陈敏华; 陈云飞

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基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析

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采用非平衡态分子动力学方法模拟了超晶格薄膜的热传导性能，分别计算了组成超晶格薄膜的两种材料的导热系数．从粒子质量、势阱深度、晶格常数的变化等方面讨论了其对薄膜两种材料的切向导热系数的影响．模拟结果表明：不同粒子质量的两种材料组成的超晶格薄膜中，二者的导热性能相互间影响并不大．而势阱深度的改变则两种材料的导热性能会相互产生影响，但在晶格不匹配时，超晶格薄膜的界面出现了应变，两者的导热系数均会产生较大的变化．同时还发现，薄膜的宽度不同时，大质量比的材料的导热系数趋于一致．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5a期|P.1659-1662|共4页
作者
胡瀚; 陈敏华; 陈云飞;
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作者单位

东南大学机械工程学院,南京210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光学集成电路（集成光路）;
关键词
导热系数; 超晶格薄膜; 非平衡态; 分子动力学;

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