一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究

许晓慧; 赵钢; 文莉; 吴亚雷; 褚家如

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通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息，以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取．在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态，并使其自由端与存储介质进行周期性的接触．当悬臂梁的自由端扫描到数据点时，其自由端的振幅和所受到的外力将发生变化，进而引起PZT压电层的介电常数发生变化．因此，通过检测悬臂梁上压电层的等效电容变化，便可以得到悬臂梁的振幅改变量，从而实现了对存储介质上数据的读取．实验结果表明，该可以实现1nm的位移检测分辨率．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5a期|P.1677-1682|共6页
作者
许晓慧; 赵钢; 文莉; 吴亚雷; 褚家如;
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作者单位

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥230026;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光检测技术;
关键词
PZT; 悬臂梁; 电容检测; 数据存储;

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