微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究

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• 来源
  《传感技术学报》 |2006年第5a期|P.1757-1760|共4页
• 作者

  朱正鹏; 缪旻; 瞿波; 金玉丰; 冯进军;

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• 作者单位

  北京大学深圳研究生院,广东深圳518055;

  北京大学微米／纳米加工技术国家重点实验室,北京100871;

  北京信息工程学院信息与通信工程系,北京100101;

  北京真空电子研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京100016;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 微波与超高频技术;
• 关键词

  太赫兹; 真空电子技术; 有限积分方法; 微机电系统;