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微型电容式压力传感器中的温度效应

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摘要

主要介绍了利用硅一硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应，给出了详细的制作工艺．文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析．最后对制作的传感器器件进行了测试，并对测试结果进行分析．结果表明这种微传感器的温度影响需要校正，否则影响传感器的的线性工作范围．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5b期|P.1807-1809|共3页
作者
黄哲琳; 冯勇建;
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作者单位

厦门大学电子工程系,福建厦门361005;

厦门大学机电工程系,福建厦门361005;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
传感器; 电容式; 温度测试; MEMS;

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