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圆形振动膜硅微电容传声器

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硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器．该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成，其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV／Pa左右，在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5b期|P.2297-22992303|共4页
作者
田静; 汪承灏; 徐联; 乔东海; 马军; 郝震宏; 魏建辉;
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作者单位

中国科学院声学研究所,北京100080;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN641.2;
关键词
声学微电子机械系统; 硅微电容传声器; 圆型振动膜;

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