E型碳化硅压力传感器的优化设计

林文琼; 杨银堂; 汪家友; 李跃进

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描述了一种性能优越的SiC压力传感器的理论和仿真运用基于小扰度的解析模型计算出了这种传感器的应变分布.根据应变分布规律优化设计了传感器的力敏电阻.利用ANSYS软件分析了该传感器的一些重要特性.与传统的传感器(圆膜传感器)相比,量程为500 kPa的该传感器表现出优异的灵敏度(24.8 μV/V.kPa)和非线性度小于0.08%.仿真结果与测量结果基本一致.

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来源
《传感技术学报》 |2004年第4期|611-614618|共5页
作者
林文琼; 杨银堂; 汪家友; 李跃进;
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作者单位

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.12;
关键词
碳化硅; 压力传感器; ANSYS; E型结构;

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