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QM-Y系半导体气敏传感器的失效分析

         

摘要

通过对气体传感器的可靠性试验,得到了元件失效的主要类型,对失效元件从微观和宏观进行了分析,找到了一些引起元件失效的主要原因,对元件的实际应用和批量生产有着极其重要的价值.%Through the failure sensors' analysis from microscopic and macroscopic aspect,some factors of causing sensors failure are found. There are very worthy for the gas sensors'practical application and batch process. Through the reliability test to gas sensors, we achieved sensors' failure type.

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