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无掩模腐蚀下的凸角削角及补偿研究

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摘要

在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时，其结构凸角的削角特性有地常规有掩模腐蚀时的情况。本文通过分析和实验，研究了该情况下凸角削角尺寸的变化规律和特点，并给出了对其进行补偿的原则和方法。

著录项

来源
《传感技术学报》 |1998年第3期|1-6|共6页
作者
李昕欣; 杨恒;
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作者单位

复旦大学电子工程系传感器研究室;

复旦大学电子工程系传感器研究室;

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正文语种 CHI
中图分类 TN304.12;
关键词
硅; 各向异性腐蚀; 削角补偿; 微机械结构;

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