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低气压气体放电电子束淀积类金刚石薄膜的光学特性

         

摘要

介绍一种新的淀积DLC膜的方法,并详细研究了该膜的光学特性.结果表明它对紫外辐射的透射率很低,但在可见与红外区则是透明的,同时CH_4的流量与基底温度对膜的特性有重要影响.

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