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硅—金属温差电堆结构及性质研究

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本文研究的温差电堆的单元对为多晶硅-金属(Au或Al)结构,其中多晶硅经连续波A_r^+激光再结晶处理后,电阻值降低,温差电堆器件的塞贝克系数和响应率得到提高.所制温差电堆最大集成达76对.

著录项

来源
《传感技术学报》 |1993年第1期|15-18|共4页
作者
卢建国; 熊斌;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.12;
关键词
温差电堆; 硅－金属; 结构; 性质;

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