超微粒氧化铁薄膜的敏感特性研究

徐甲强; 曾恒兴

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随着半导体技术和微电子技术的发展,半导体气敏元件的品种、数量和质量都有了很快的发展。为了满足信息社会对气体传感器小型化、集成化和智能化的要求,气敏材料正在向超微细化、薄膜化和复合化的方向发展。超微粒薄膜气敏材料由于具有工作温度低、灵敏度高、响应恢复快、易集成、一致性和稳定性较好的独特优点,在近期内得到了很大的发展,并且成为当前气敏材料研究的热门课题。本文采用PCVD法生长出均匀透明的非晶氧化铁敏感膜,经热处理而制备的薄膜型气敏元件,无需掺杂便具有优良的气敏性能,显示出良好的应用前景。

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来源
《传感技术学报》 |1991年第1期|32-36|共5页
作者
徐甲强; 曾恒兴;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.055;
关键词
超微粒; 氧化铁; 薄膜; 敏感特性;

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