用表面等离子体共振传感器检测纳米间距

王二伟; 鱼卫星; 王成; 卢振武

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用表面等离子体共振传感器检测纳米间距

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结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5～0.5μm变化时,位相改变量可实现-150°～150°的变化,检测灵敏度>1 nm。该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点。

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来源
《中国光学(中英文)》 |2013年第2期|259-266|共8页
作者
王二伟; 鱼卫星; 王成; 卢振武;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

中国科学院大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;几何量计量;
关键词
表面等离子体共振(SPR)传感器; 角度传感器; 纳米间距; 共振角度; 位相差;

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